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              首頁 >>> 產品展示 >>> 愛德華 >>> 真空泵 >>> STP301 STP603英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
            產品名稱: 英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
            產品時間: 2019-04-15
            產品型號: STP301 STP603
            產品特點: Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現性能,大的制程靈活性。STP301 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

            英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603 的詳細介紹

            英國愛德華渦輪分子泵STP301、STP603 ISO100 入口 KF25 出口

            概述

            Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的制程靈活性。STP301 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。
             
            此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網。
              
            如需完整安裝,請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
             

            應用

            • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            • 濺射
            • 離子注入源,射束線泵送端點站
            • MBE
            • 擴散
            • 光致抗蝕劑脫模
            • 晶體/晶膜生長
            • 晶片檢查
            • 負載鎖真空腔
            • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
            • 高能物理:射束線、加速器
            • 放射線應用:融合系統、回旋英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

              功能和優勢

              先進的轉子技術  

            • 大的制程靈活性

            • 無油

            • 低振動

            • 高度可靠

            • 免維護

            • 先進的控制器設計  

            • 自動調整

            • 自行診斷功能

            • 直流電機驅動

            • 無電池運行

            • 緊湊型設計  

            • 占地面積小

            • 半機架控制器

              技術データ

              入口法蘭ISO100,CF100
              出口KF25
              抽速 
                N2300 ls-1
                H2300 ls-1
              壓縮比 
                N2>108
                H2>2 x 104
              加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭)6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
              加熱時的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa (10-10 Torr)
              大允許進氣口壓力(環境空氣冷卻)0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
              大連續出口壓力(環境空氣冷卻)13 Pa (0.1 Torr)
              額定速度48000 rpm
              啟動時間3 min
              高入口法蘭溫度120 °C
              輸入電壓100 至 120 (± 10%) V 交流或
               200 至 240 (± 10%) V 交流
              啟動時的功耗0.55 kVA
              泵重量11 kg
              控制器重量7 kg

             蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

            鎮江常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

            海門海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

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            泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

            南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

            烏魯木齊石家莊天津長春吉林濟南青島英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

            威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養

            一、進口真空泵維修:
            1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
            2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
            3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
            4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
            5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
            6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
            7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
            8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
            9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
            10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
            11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
            12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

            二、進口真空泵配件銷售:
            1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
            2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

            三、進口真空油銷售:
            品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

             

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