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            產品名稱: 英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
            產品時間: 2019-04-21
            產品型號: STP1003 STP1003C
            產品特點: Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于先進的半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的制程靈活性。這種泵已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

            英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修 的詳細介紹

            英國愛德華STP1003 、STP1003C DN200CF 進氣口

            概述

            Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于先進的半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現的性能,大的制程靈活性。這種泵已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

            應用

            • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
            • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
            • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
            • 濺射
            • 離子注入源,射束線泵送端點站
            • MBE
            • 擴散
            • 光致抗蝕劑脫模
            • 晶體/晶膜生長
            • 晶片檢查
            • 負載鎖真空腔
            • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
            • 高能物理:射束線、加速器
            • 放射線應用:融合系統、回旋

              功能和優勢

              先進的轉子技術  

            • 大的制程靈活性

            • 無油

            • 低振動

            • 高度可靠

            • 免維護

            • 可用于嚴苛制程(C 型)

            • 使用壽命延長

            • 先進的控制器設計  

            • 自動調整

            • 自行診斷功能

            • 直流電機驅動

            • 無電池運行

            • 緊湊型設計  

            • 占地面積小

            • 半機架控制器英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

              技術數據

              入口法蘭ISO200F
              出口KF40
              吹掃口KF10
              抽速 
                N21000 ls-1
                H2800 ls-1
              壓縮比 
                N2>108
                H2>105
              加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭)10-7 Pa
               (10-9 Torr)
              加熱時的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa
               (10-10 Torr)
              大連續出口壓力13 Pa
               (0.1 Torr)
              額定速度35000 rpm
              啟動時間6 分鐘
              高入口法蘭溫度120 °C
              輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
               至 240 (± 10) V 交流
              啟動時的功耗0.8 kVA
              泵重量31 kg
              控制器重量9 kg

             蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

            常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修
            如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

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